时间: 2025-12-27 01:20:51 | 作者: 辅助设备
金融界2025年7月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，姑苏海杰兴科技股份有限公司获得一项名为“一种晶圆激光加工体系”的专利，授权公告号CN223140733U，请求日期为2024年09月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种晶圆激光加工体系。开槽设备中，将晶圆涂覆激光切开维护胶后，经过紫外激光器与加工渠道相配合，对晶圆正面金属层切开开槽，开槽后的晶圆经过清洗放回卡夹；隐切设备中，晶圆倒扣在作业载台上，红外激光器与作业载台相配合，红外光穿透透切膜对晶圆进行隐切，晶圆内部在激光经过的途径上构成裂纹；扩膜机中，透切膜扩张将晶圆沿着晶圆内部的裂纹分化构成一颗颗晶粒。本实用新型将正面开槽、反面隐切和扩膜工艺相配合一次加工完结晶圆的切开别离，大幅度的提升了出产功率和切开质量。经过作业载台和超声清洁设备相配合，对晶圆正面进行维护，避免晶圆正面在隐切时损坏。
天眼查资料显现，姑苏海杰兴科技股份有限公司，成立于2021年，坐落姑苏市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3640万人民币。经过天眼查大数据分析，姑苏海杰兴科技股份有限公司产业线条，此外企业还具有行政许可11个。
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